半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔jue粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這就是半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的來(lái)由。
以下半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車(chē)間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法：
1.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車(chē)間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不jue地打入潔凈車(chē)間中。
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，潔凈無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在潔凈無(wú)塵車(chē)間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減****低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進(jìn)出潔凈無(wú)塵車(chē)間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過(guò)
風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車(chē)間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是**佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人！
7.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車(chē)間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍?*要求99.8%以上的高純氮。
